好消息：至微科技的Ultron S300-SPM实机应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线，到上星期单机累计产能跳过70万片次。

  SPM（Sulfuric Peroxide Mixture）混合物，是用于前端制程中光刻胶去除和清洗的最常用工艺，常用的体积比在2:1-4:1之间。

  至微科技于2022年正式推出的Ultron S300-SPM，成为国产首台应于大规模量产线英寸硫酸清洗机。此类型设备经过预加热H2SO4到80 ~150 ，然后在单片腔体喷嘴规划的混合管路中实时混合H2O2，经过混合发生的放热反应加热混合物可以在必定程度上完结140 的温度，极大强化了对光刻胶的去除才能，缩短工艺时刻，削减工艺过程。

  至微科技的Ultron S300-SPM实机已应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线万片次以上，到上星期单机累计产能超越70万片次。

  至纯的单片清洗机台规划选用类世界一流设备的架构，有自己专利和技能布局；在客户端可以运用与世界大厂相同的recipe架构做验证，在去除有机物功率、颗粒、蚀刻率、蚀刻均匀性等工艺目标也和日系大厂设备相匹配，第一台单片整理洗刷设备从搬入到到达客户端的工艺目标，开端产品验证只用了两个多月的时刻。凭仗杰出的功能体现，已完成了对近十道刻蚀后清洗（post etch clean）工艺的全掩盖。Uptime、WPH、工艺spec和产品良率等目标均已到达国外竞品平等水平。

  Ultron S300-SPM还可大范围的应用于12英寸存储、图画传感器等范畴的湿法清洗工艺。作为国产高端单片整理洗刷设备的立异供货商，至微科技致力于为职业头部客户供给“先进牢靠的湿法工艺设备成套解决方案”。