点评：公司22Q2 扣非净利润同比+48%，清理洗涤设施业务快速地增长。公司22H1 归母净利润同比-46%，主要系22H1 非经为-0.16 亿元（21H1 为1.08 亿元）； 22H1 扣非净利润同比+128%，22Q2 扣非净利润同比+48%，主要系公司半导体设备业务增长所致。公司22H1 清理洗涤设施订单8 亿元（22 年目标20 亿），同比+87%；收入4.7 亿元，同比+73%，毛利率提升11.2pcts 至35%，清理洗涤设施业务实现快速地增长。公司22H1 合同负债为4.47 亿元，较22Q1 增长81%。

  清洗设备领域进展顺利，拳头产品获持续订单。目前公司在28nm 节点获得全部工艺的设备订单，在14nm以下制程获得了4 台设备订单，拳头产品包括SPM、晶背清洗等机型在核心关键工序段均得到第一梯队客户的广泛认可，并获得持续订单。公司湿法设备可覆盖第三代半导体晶圆制造全工序段，已累计获得近40 台订单，近期拿到了N 型电池生产线的湿法设备订单，预计于第三季度交付。 高纯工艺系统持续增长，支持类设备国产替代进展良好。公司22H1 以支持设备为主的高纯工艺系统持续增长，核心客户如中芯、华虹、长江存储、合肥长鑫、士兰微等，气体及化学品设备、前驱体设备和研磨液等设备国产替代进展良好。

  积极布局电子大宗气体、晶圆再生及部件清洗等新的增长曲线）大宗气嘉定工厂年初顺利供气，逐步爬坡，为首座完全国产化的12 英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂；（2）在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前已通线试产， 是国内首条投产的12 英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线 万件半导体零部件再生的产能。

  盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内领先的半导体湿法设备巨头企业，随着湿法设备业务持续放量，以及积极布局支持类设备、电子大宗气体等，公司进入加快速度进行发展期。我们维持至纯科技2022-2024 年的归母净利润分别为3.81、5.55、7.26 亿元，当前市值对应的PE 分别30x、21x、16x，维持“买入”评级。

  证券之星估值分析提示士兰微盈利能力平平，未来营收成长性一般。综合基本面各维度看，股价偏高。更多

  证券之星估值分析提示至纯科技盈利能力平平，未来营收成长性较差。综合基本面各维度看，股价合理。更多

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